分享到:

中精微设备静压空气轴承,天津气浮转台,天津气浮产品

联系资料

中精微设备
所在地区:
北京市 北京市
公司主页:
暂无
电话号码:
1861*******
传真号码:
暂无
联 系 人:
暂无
移动电话:
1861*******
电子邮箱:
暂无

武清|宁河气浮平台超精密机械中的一种典型结构

发布于:2021年06月16日 来源:www.fuhai360.com
[摘要]武清|宁河气浮平台超精密机械中的一种典型结构,通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触,提高平台机构运动精度,具有非常优-秀的平面度、直线度,克服了传统机械定位台行程短,响应滞后大,摩擦阻力等不足。
超精密机械中的一种典型结构,通过静压气浮隔离机械运动副之间的接触,提高平台机构运动精度,具有非常优-秀的平面度、直线度,克服了传统机械定位台行程短,响应滞后大,摩擦阻力等不足。
气浮平台的应用领域:
1.精密加工
2.精密测量
3.微电子制造业
4.光刻机平台
5.半导体加工业
6.扫描