深圳大浪精密机械加工之离子束产生的基本原理

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         离子束产生的基本方法是将中性原子经高温、强光或放射线照射，高速电子的撞击或放电作用而电离成离子。离子枪是产生离子束的装置，图6.4-1所示的为考夫曼离子枪原理图。离子枪的电离室1保持1.333Pa的真空度，灯丝2加热后发出热电子，电子在阳极9的作用下被加速，同时，电磁线圈4使电子束在磁场偏转作用下呈螺旋形向前运动。由进气口 3 进入电离室的氩气（A r ) 原子受到电子束的撞击，被电离成阳离子A r +。在阴极8的作用下，A r+离子通过阳极9后形成均匀的离子束流5，并射向工件6，实现离子束加工。工作室7保持1333 X10(T8P a的高真空度，10为抽真空图气口。