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查看更多>云南电子级多晶硅昆明冶研新创举科技股市持续走高
发布于：2015年06月23日
来源：www.fuhai360.com
[摘要]昆明冶研新材料股份公司的电子级多晶硅属高纯度(11N以上)多晶硅材料，是国民经济和社会发展急需的战略性基础材料，是制造大规模集成电路用单晶圆片的重要基础原料，目前全球硅材料使用量占半导体材料总量的95%以上。
云南电子级多晶硅昆明冶研新创举科技股市持续走高
昆明冶研新材料股份公司的电子级多晶硅属高纯度(11N以上)多晶硅材料，是国民经济和社会发展急需的战略性基础材料，是制造大规模集成电路用单晶圆片的重要基础原料，目前全球硅材料使用量占半导体材料总量的95%以上。由于受国外核心技术封锁，我国电子级多晶硅产业总体仍处于起步阶段，没有形成稳定的规模化生产能力。
材料的纯度主要取决于硅多晶的制备工艺，同时与后续工序的玷污也有密切关系。材料的均匀性主要涉及掺杂剂，特别是氧、碳含量的分布及其行为，在直拉生长工艺中采用磁场(见磁控直拉法单晶生长)计算机控制或连续送料，使均匀性得到很大改善；对区熔单晶采用中子嬗变掺杂技术，大大改善了均匀性。在结构完整性方面，直拉硅单晶早已采用无位错拉晶工艺，目前工作主要放在氧施主、氧沉淀及其诱生缺陷与杂质的相互作用上。氧在热处理中的行为非常复杂。。