超声波清洗主要是靠空穴的作用，而产生空穴的强弱与超声波声学参数和清洗掖曲物理化学性质有关。为获得良好的清洗效果，必须选择合适的清洗液和适当的超声波声学参数。
(1)超声波声强(或声压)
在液体中只有交变声压幅值超过静压力时才出现负压，而负压要超过液体的强度才能产生空穴。使液体产生空穴的最低声强或声压幅称为空化
阐，各种液体具有个同的空化网值。
在超声波清洗机中的声强要高于空化阐才能产生空穴，对于一般液体，空化闻约为1/3W/cm2(声强与声压的平方成正比)，声强增加时，空化泡最大半径与起始半径的比值加大，便空化强度增大，而且空穴数量也增加，有利于清洗作用。
但并不是声强越高，清沉效果越好，当声强过高时，在声源表面会产生大量无用的气泡而形成一道声屏障，使远离声源的声波强度减弱而削弱清洗作用。所以在清洗槽中，声强一般选择在1—2w／cm2范围。对于一些难清洗干净的污物，如对金属表面的氧化膜，化纤喷丝板孔个污物的清洗则采用较高的声强，注意此时被清洗物体表面应贴近声源。
(2)超声波的频率
液体的空化闭值与超声波频率有密切关系。频率越高，空化阂也越高，即频率越高，在液体中产生空穴所需要的声强或声功率也越大。而超声波频率低时，容易产生空穴，同时在低频率情况下，液体受到的压缩与稀疏作用之间有更长的时间间隙，使气泡在崩馈前能长到较大尺寸，使崩溃时空化强度增高有利于清洗作用。因此对于质量和体积较大的清洗物体，一般选用较低频率的超声波清洗机，对于一些轻巧而容易损坏的零件清洗时则选用较高频率的超声波清洗机。另外，选择频率时还需考虑噪声的问题，频率低于20 kb时噪声大，因此超声波清洗机的频率大多选择在20-50 kHz范围。
(3)清洗液的性质
清洗液的表面张力、蒸气压及粘度等性质对空穴的产生有直接影响，液体表面张力大则空穴崩溃时释放的能量也大，有利于超声波清洗。水的表面张力比有机溶剂大，所以通常选用水作超声波清洗的媒体。由于蒸气压高的液体，空穴强度低，粘度大的液体的空化阂大，不易产生空穴，因此蒸气压高、粘度大的清洗液都不利于超声清洗。