NanoFocus μsurf explorer共聚焦显微镜精密测量、表面分析系统机台功能齐全,结构紧凑,性价比高,并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力。
德国/NanoFocus共聚焦显微镜的应用
μsurf系列用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
1. 精密部件:检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的零部件,比如发动机汽缸、刀口等;
2. 生命科学:测量stents支架上镀层厚度等
3. 微电子机械系统:微型器件的检测,医药工程中组织结构的检测,如基因芯片等
4. 半导体:检测微型电子系统,封装及辅助产品结构设计
5. 太阳能:电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量,制绒后3D形貌表征(单晶金字塔大小、数量、角度,多晶腐蚀坑形貌、密度),粗糙度分析等
6. 纸张:纸张、钱币表面三维形貌测量
NanoFocus μsurf explorer共聚焦显微镜的技术参数
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间:5~10秒
测量原理:非接触、共聚焦
X/Y方向,平台移动范围:50mmX50mm,马达驱动,分辨率:0.3μm
Z方向测量范围:250μm,分辨率:2nm
物镜:10X、20X、50X、100X(可选)
计算机:高性能计算机控制系统,功能全面的软件,有拼接功能,
工作电源:100-240V, 50-60Hz, input<45W
材质:钢铁、橡胶、大理石
外型尺寸:710x270x330 mm (HxWxD)
重量:28KG
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
公司主营产品:共聚焦显微镜,全自动影像仪,全自动晶元检测系统,太阳能表面检测系统,自动影像仪,共聚焦显微镜,光学测量仪,便携式共聚焦显微镜。
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