激光扫描共聚焦显微镜(***)是在荧光显微镜成像基础上配置激光光源和扫描装置,在传统光学显微镜基础上采用共轭聚焦装置,利用计算机进行图像处理,对观察样品进行断层扫描和成像,是一种高敏感度与高分辨率的显微镜。
随着科学研究和先进制造技术的发展,满足各种不同功能需求的多样化表面不断出现,从统计性形貌特征表面发展到结构性表面,从简单几何表面发展到自由曲面,从微米精度发展到纳米精度要求。这些发展对共聚焦显微镜表面形貌测量技术提出了越来越高的新的要求。
激光扫描共聚焦显微镜通过对样品X-Y轴的逐点扫描,形成二维图像。如果在z轴上调节聚焦平面的位置,连续扫描多个不同2位置的二维图像,则可获得一系列的光学切片图像。在相应软件的支持下,通过特定的软件处理方法得到清晰的三维重建图像。
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