无尘室内的浮游微粒子浓度，使用高性能的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。
无尘室内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列四项基本原则：
一、不携入
在无尘室内不携入微粒子的方法有：
1）作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理；
2）进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
3）通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。
4）机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。
5）无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
二、不发生
在控制最大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到最小限度应采取以下对策：
1）减少接触剥离发尘的动作形态；
2）采用磨耗发尘小的材质；
3）采用发尘小的润滑油；
4）机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
三、不储备
若能彻底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。
在最高等级的无尘室中从天花板到地面，完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时，空气的流向也必须要有精确的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍物的话，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在无尘室内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。
动线规划要点：要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染。作业者、化学药品、材料等动线勿集中；无尘车间四周，宜设缓冲区；制造装置的出入，不要对作业产生大影响。
无尘车间不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点：对于300000级空气净化处理，可采用亚高效过滤器代替高效过滤器；空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理，应采用初、中、高效过滤器三级过滤器；中效或高效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段；高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。
有些空气净化系统的空气，如经处理仍不能避免交叉污染时，则不能循环使用：固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序；用有机溶媒精制的原料药精制、干燥工序；放射性药品生产区；病原体操作区；工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序；固体口服制剂的颗料、成品、干燥设备所使用的净化空气。
所谓空气过滤器(Air Filter)是指空气过滤装置。空气过滤器主要包括有初效过滤器，中效过滤器，高效过滤器及亚高效等型号。各种型号有不同的标准和使用效能，同时它的使用也是相当的广泛的，同时它的应用也是非常的广泛的，包括在无尘车间，无尘实验室，无尘工厂，无尘厂房，洁净车间都需要安装空气过滤器。
而无尘车间：是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。因此不论外在之空气条件是如何的变化的，室内都能够俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘车间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间洁净度:以单位体积空气中某粒径粒子的数量多少来区别的洁净程度.千级无尘车间,主要过滤大于或等于0.5UM尘埃粒子,其送风量按换气数一般在50次以上。
无尘车间安装空气过滤器的主要作用在于它必须要做到整个车间无尘，那么对于空气质量的要求自然也很好，无尘空间安装空气过滤器有着不同的规格，通常来说，对于300000级空气净化处理，可采用亚高效过滤器代替高效过滤器;空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理，那么就需要采用初、中、高效过滤器三级过滤器;而中效或者高效空气过滤器宜则需要小于或等于额定风量选用;同时中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段;高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。
为了防止由静电吸附而引起的微粒附着，通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并藉由除电装置进行除电。
四、排除/除去
在无法避免大量微粒子发生的机台中，为了不让无尘室内产生微粒子，因此直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。针对排气的对策如下：由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是绝对理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时，不仅仅是向无尘室外排气，而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。