(l)气浮导轨。当导轨t的运动部件重量很重并且压缩空气压力非常稳定时，可用气
空气轴承主轴结构较多，主要有以下几种典型的结构：
①圆柱径向轴承和端面止推空气静压轴承。
②双半球空气轴承主轴。
③前部用球形后部用圆柱径向空气轴承的主轴。
④立式空气轴承。
机床主轴和轴承的材料应考虑下列因素：不易磨损；不易生锈腐蚀：热膨胀系数要小，
材料的稳定性能好。由于轴承精度甚高，要避免制成后变形，常常需要进行稳定化处理。
3)主轴的驱动方式
精密机床大部分采用电动机通过带传动驱动。采用这种驱动方式，电动机采用直流电
动机或交流变频电动机，这种电动机可以实现无级调速，不用齿轮调速以减少振动。电动
机要求经过精密动平衡并用单独地基以免振动影响精密机床。传动带用柔软的无接缝的丝
质材料制成。带轮有自己的轴承支撑，经过精密动平衡，通过柔性联轴器（常用电磁联轴器）
和机床主轴相连。采用上述措施主要是使主轴尽可能和振动源隔离。
在超精密磨床中还常常采用下列驱动方式。
(l)电动机通过柔性联轴器驱动机床主轴。采用这种驱动方式时，电机和机床主轴在
同一轴线上，通过电磁联轴器或其他柔性联轴器和超精密机床的主轴相联结，这时机床的
主轴部件要比通过传动带驱动紧凑得多。采用这种主轴驱动方式时，电机采用直流电动机
或交流变频电动机，珂以很方便地实现无级调速。
(2)采用内装式同轴电动机驱动机床主轴。采用这种驱动方式时，电动机是专制的内
装式，电动机轴即为机床主轴。电动机的转子直接装在机床主轴上，电动机的定予装在主
轴箱内，电动机自己没有轴承，而是依靠机床的高精度空气轴承支撑转子的转动．电机采
用无刷直流电机，主轴转速可以方便地无级变速：同时电机还有电刷，不但可消除电刷引
起的摩擦振动而且免除了电刷磨损对电机运转的影响．现在一般的直流电动机都是方波驱
动(驱动转矩变化大致在8%一l0%)，若采用正弦波驱动，驱动转矩可控制在5%以内。超精
密机床的主轴电动机一般要求在某速度以下为恒转矩，某功率以上为恒功率，这样在低速
时可满足必要的加工转矩。
2．床身和精密导轨部件
对于床身导轨部件要求有很高的直线运动精度。并且能长期保持它的精度，要求直线
运动时没有爬行现象。因此，在材料卜改变过去的床身和导轨都用铸铁的情况，现在多数
采用优质耐磨铸铁和花岗岩（包括人造花岗岩）。对机床导轨的耦合面，改变过去的摩擦接
触而采用以下的方式：导轨表面用耐磨塑料层，导轨接触面强迫润滑，滚动导轨，液体静
压导轨，气浮导轨，空气静压导轨。
1)滚动导轨
滚动导轨在精密机床中应周多年，过去滚动导轨用的均为滚柱直线滚动轴承，现在增
加了再循环滚柱滚动件组件和再循环滚珠滚动组件。直线运动的精度比过去大为提高，可
以达到微米级精度，摩擦因数极低，仅为0.002-0.003。
(l)直线滚动轴承。这是过去长期使用的，滚柱带保持架在导轨的耦合面间作直线滚
动，轴承长度根据工作行程长度决定。使用高精度滚柱和具有一定的预载应力时，可以得