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超声旋转加工采用烧结金刚石工具，工具作超声頻振动外，还绕自身轴线髙速旋转(1000〜5000r/min)。超声旋转加工，尖棱的金刚石对材料锤击和旋转时产生的刻划作用，把工具的超声频、小振幅振动和金刚石的优良切削性能结合在一起，与传统超声加工相比，加工速度提髙3 〜10倍，加工深度只受工具长度限制,工具磨损大大减小，圆度误差小于0.005« n m ,锥度小于0.3、它已经用子陶瓷零件上加工孔槽（20〜3 0 m m深）、加工深小孔（直径3 〜e m m ，深4(k_ ) 。美国声能公司出产的U M T - 5型加工机，在玻璃板上加工出直径l . e m m，深3<>5_ 的孔。
英国制成了加工最小孔径为0 . 0 8 m m的设备。在很薄的硬脆材料上钻孔不会引起零件破碎，还可以加工孔壁相距零点几毫米的孔。如在厚63m m 的玻璃板上加工直径为I m m 的孔，孔S仅相距0 . 5 m m。我国已研制成新型超声旋转加工机，应用于Y A G 激光晶体棒外圆成形，获扎了较好的工艺指标和技术经济效果。